「 LSI電極合金 」

　従来は、我が国の生産額や設備投資額から見ても鉄鋼産業が首位をしめていたが、最近では、この地位を半導体工業と中心とした電子工業が占めるようになった。いわゆる、産業の「米」と呼ばれる地位が鉄鋼から半導体に入れ替わったものが産業構造の近代的変革である。この半導体の世界のサバイバルは電極合金LSIをめぐって開発競争が火ぶたを切られている。

　LSIの開発目標は集積度を上げることであり、寸法を2分の1にすれば集積度は2の二乗で増加するので、目標の達成のためには、まずディバイスの微小化が必要となる。このようにして現在、64、256、そして1メガと進んで来ている。また、集積度が大きくなると、その配線量もそれにつれて大きくなり、二重、三重の多層配線構造とならざるを得ない。

　従来から使用されてきた純アルミニウムも集積度が大きくなるとエレクトロマイグレーションが大きくなるので使用できなくなり、改良された合金がアルミニウム・シリコン合金、アルミニウム・銅合金、アルミニウム・シリコン・銅合金である。ここで、エレクトロマイグレーションとは、微細な金属配線に電流を流したとき、金属イオン自身が移動する現象で、これが原因となって断線やホイスカー成長による短絡事故が発生することをいう。これらは、集積度が小さいとき問題とならない。